瑞研光学小课堂：光学元件表面平面度概念讲解

瑞研光学小课堂：光学元件表面平面度概念讲解

表面平面度是一种测量表面精度的规格类型，它用于测量反射镜、窗口片、棱镜表面等平面的偏差。

瑞研光学一般使用光学平晶来测量此偏差，如果是镀膜产品，一般是膜之前要检测表面精度，光学平晶是一种高质量、高精度的参考平面，是一种标准件，用于比较试样的平滑度。当所测试的光学产品的平面靠着光学平晶放置时，会出现条纹，其形状表示所检测的光学产品的表面平滑度。如果这些条纹间隔相等，并且是平行的直线，那么被检测的光学表面至少像参考光学平晶一样平展。如果条纹是弯曲的，则两个虚线（一个虚线与条纹中点相切，另一个虚线穿过同一个条纹的端点）之间的条纹数量会指出平滑度错误。

平滑度的偏差通常是按波纹值(λ)来测量的，它们是由多个波长的测试源组成。一个条纹对应½的波长。平滑度为1λ，则表示一般的质量级别；平滑度为λ/4，则表示的质量级别；平滑度为λ/20，表示高精度的质量级别。

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